半導(dǎo)體制造涉及許多濕工藝，例如在整個(gè)生產(chǎn)周期中多次使用超純水進(jìn)行清洗。蝕刻等其他工藝則需要腐蝕性化學(xué)品。無(wú)論是哪種工藝，所需的液體都必須儲(chǔ)存在儲(chǔ)液罐中，并對(duì)其液位進(jìn)行監(jiān)控。

然而，測(cè)量腐蝕性化學(xué)品的液位對(duì)傳感器來(lái)說(shuō)是一項(xiàng)特殊的挑戰(zhàn)。尤其是在儲(chǔ)罐壁不允許從外部進(jìn)行檢測(cè)的情況下。在這種情況下，我們帶有 PTFE 涂層外殼的電容式傳感器就是正確的選擇。這些傳感器可以檢測(cè)直接檢測(cè)工藝液體中高導(dǎo)電性介質(zhì)（如酸和堿）的含量。.這意味著蝕刻、抗蝕劑的應(yīng)用、光刻或化學(xué)機(jī)械拋光后的顯影以及晶片的清潔都可以按計(jì)劃進(jìn)行。

我們的液位傳感器外殼材料由不銹鋼或聚四氟乙烯（PTFE）或聚醚醚酮（PEEK）等耐化學(xué)塑料制成，具有惰性和耐熱性。惰性且非常耐熱。耐熱。由于我們的特殊傳感器外殼可以承受侵蝕性酸液，因此即使是對(duì)侵蝕性很強(qiáng)的介質(zhì)進(jìn)行液位監(jiān)測(cè)，也可以通過(guò)與介質(zhì)接觸來(lái)解決。

因此，我們的潤(rùn)濕傳感器非常適合半導(dǎo)體工業(yè)自動(dòng)化.

特殊功能

采用聚四氟乙烯（PTFE）外殼，具有很強(qiáng)的耐化學(xué)性

適用于酸、堿、超純水和泥漿

智能液位技術(shù)實(shí)現(xiàn)泡沫和積聚補(bǔ)償

精確可靠的檢測(cè)